什么是微光？什么是激光?

微光刻只是光刻的一種說法。一般來說，英文對光刻技術(shù)的叫法有photolithography，microlithography等等，但是意思上沒有本質(zhì)區(qū)別。lithography的英文愿意是印刷，加上photo或者micro目的是區(qū)別光刻和傳統(tǒng)印刷技術(shù)。
采用激光進(jìn)行光刻的種類和用途很多，直接說激光光刻很不科學(xué)，因為用激光光源進(jìn)行光刻的有激光直寫光刻，準(zhǔn)分子激光步進(jìn)式投影光刻，準(zhǔn)分子激光接觸式光刻等等。而光刻技術(shù)往往不依據(jù)光源來劃分，所以這種“激光光刻”的說法還是不要用。
光刻的種類很多，采用激光進(jìn)行光刻的方式只是其中的一部分，所以應(yīng)該是包含的關(guān)系。